Electrical Engineering Glossary Definition for MEMS

Definition

｢Micro Electronic Mechanical Systems｣の頭文字をとった言葉、またはマイクロエレクトロメカニカル･システムのこと：機械部品と電気部品を組み合わせたシステムで、半導体製造技術を用いて製造される。一般例としては、センサとアンプ、またはセンサと信号処理回路を組み合わせた、圧力および加速センサが挙げられる。その他のアプリケーションとしてスイッチ、バルブ、および導波管がある。

Synonyms

• Microelectromechanical systems

Keywords

マイクロエレクトロメカニカル,mems,micro,マイクロ

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